四主轴多线切割机解决方案

精度更高、排线稳定、操作方便

多线切割机是IC(集成电路)、IT(信息技术)、PV(光伏)等行业核心器件基片制造流程中的关键装备,具有效率高,产能高,精度高等优点,是目前采用最广泛的硬脆材料切割设备。

行业背景

多线切割机是IC(集成电路)、IT(信息技术)、PV(光伏)等行业核心器件基片制造流程中的关键装备。多线切割是目前最先进的切片加工技术,它不同于传统的刀锯片、砂轮片等切割方式,也不同于激光切割和内圆切割,它的原理是金刚砂线在主罗拉上形成一张线网,通过高速往复运动对材料进行切割,将待切材料同时切割为数百或数千片薄片的切片工艺。多线切割技术具有效率高,产能高,精度高等优点,是目前采用最广泛的硬脆材料切割技术。

系统原理

四主轴瓦片方案采用四个主轴模糊PID控制,保证四个主轴之间转矩稳定。收放线通过收放线摆杆反馈PID控制,保证摆杆角度稳定和线上张力稳定。收放线摆杆使用总线转矩模式,可以方便有效的修改线上张力,同时与张力传感器做闭环控制。保证线上张力稳定。工作台采用配方方案,满足客户不同材料的加工。同时支持直片瓦片切换,方便客户加工瓦片直片需求。瓦片支持单段补偿,切割精度更高。

工艺流程

系统拓扑

方案优势

减少机械传动,方便耐用

使用四主轴功能,减少机械传动,设备安装方便,不需要传送带传动,使用寿命更长。

控制精度更高

使用EtherCAT通讯,通讯周期1ms,摆杆与主轴转矩控制精度更高。

精密排线

排线采用精密排线,放线排线采用自动纠偏:保证排线的稳定,避免排线导致的断线。

多组方案灵活切换

工作台提供多组方案,灵活切换瓦片直片,瓦片可分段补偿,精度更高。

断线报警采集

断线报警采集功能,当发生报警时,客户可以根据报警时数据信号,分析断线原因。

张力控制精度高

收放线通过算法加模糊PID控制,张力控制精度更高。

闭环控制更稳定

四主轴通过转矩反馈,闭环控制,使四主轴转矩更稳定。

参数一键上下载

触摸屏可以一键上载、下载伺服参数,操作更方便。